BS-4020A טרינאָקולאַר ינדוסטריאַל ווייפער דורכקוק מיקראָסקאָפּ
הקדמה
BS-4020A ינדאַסטריאַל דורכקוק מיקראָסקאָפּ איז ספּעשאַלי דיזיינד פֿאַר ינספּעקשאַנז פון פאַרשידן גרייס ווייפערז און גרויס פּקב. דער מיקראָסקאָפּ קענען צושטעלן אַ פאַרלאָזלעך, באַקוועם און גענוי אָבסערוואַציע דערפאַרונג. BS-4020, מיט אַ בישליימעס דורכגעקאָכט סטרוקטור, הויך-דעפֿיניציע אָפּטיש סיסטעם און ערגאַנאַמיק אָפּערייטינג סיסטעם, ריאַלייזיז פאַכמאַן אַנאַליסיס און טרעפן פאַרשידן באדערפענישן פון פאָרשונג און דורכקוק פון ווייפערז, FPD, קרייַז פּעקל, פּקב, מאַטעריאַל וויסנשאַפֿט, פּינטלעכקייַט קאַסטינג, מעטאַלאָסעראַמיקס, פּינטלעכקייַט פורעם, סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק עטק.
1. שליימעסדיק מיקראָסקאָפּיק ילומאַניישאַן סיסטעם.
דער מיקראָסקאָפּ קומט מיט Kohler ילומאַניישאַן, גיט העל און מונדיר ילומאַניישאַן איבער די וויוינג פעלד. קאָואָרדאַנייטיד מיט ינפיניטי אָפּטיש סיסטעם NIS45, הויך NA און LWD אָביעקטיוו, שליימעסדיק מיקראָסקאָפּיק ימידזשינג קענען זיין צוגעשטעלט.
פֿעיִקייטן
העל פעלד פון רעפלעקטעד ילומאַניישאַן
BS-4020A אַדאַפּץ אַ ויסגעצייכנט ומענדיקייַט אָפּטיש סיסטעם. די וויוינג פעלד איז מונדיר, העל און מיט הויך קאָליר רעפּראָדוקציע גראַד. עס איז פּאַסיק צו אָבסערווירן אָופּייק סאַמפּאַלז פון סעמיקאַנדאַקטערז.
פינצטער פעלד
עס קענען פאַרשטיין הויך-דעפֿיניציע בילדער אין טונקל פעלד אָבסערוואַציע און פירן-אויף הויך סענסיטיוויטי דורכקוק צו די פלאָז אַזאַ ווי פייַן סקראַטשיז. עס איז פּאַסיק פֿאַר ייבערפלאַך דורכקוק פון סאַמפּאַלז מיט הויך פאדערונגען.
העל פעלד פון טראַנסמיטטעד ילומאַניישאַן
פֿאַר טראַנספּעראַנט סאַמפּאַלז, אַזאַ ווי FPD און אָפּטיש עלעמענטן, די העל פעלד אָבסערוואַציע קענען זיין איינגעזען דורך קאַנדענסער פון טראַנסמיטטעד ליכט. עס קענען אויך זיין געוויינט מיט DIC, פּשוט פּאָולעראַזיישאַן און אנדערע אַקסעסעריז.
פּשוט פּאָולעראַזיישאַן
דער אָבסערוואַציע אופֿן איז פּאַסיק פֿאַר ביירעפרינגאַנס ספּעסאַמאַנז אַזאַ ווי מעטאַלערדזשיקאַל געוועבן, מינעראַלס, לקד און סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס.
רעפלעקטעד ילומאַניישאַן DIC
דעם אופֿן איז געניצט צו אָבסערווירן קליין דיפעראַנסיז אין פּינטלעכקייַט מאָולדז. די אָבסערוואַציע טעכניק קענען ווייַזן די קליינטשיק הייך חילוק וואָס קענען ניט זיין געזען אין אַ פּראָסט אָבסערוואַציע וועג אין די פאָרעם פון ימבאָסמאַנט און דריי-דימענשאַנאַל בילדער.
2. הויך קוואַליטעט האַלב-אַפּאָ און אַפּאָ ברייט פעלד & דאַרק פעלד אַבדזשעקטיווז.
דורך אַדאַפּטינג מולטי-לייַער קאָוטינג טעכנאָלאָגיע, NIS45 סעריע האַלב-אַפּאָ און אַפּאָ אָביעקטיוו אָביעקטיוו קענען פאַרגיטיקן ספעריש אַבעריישאַן און די טשראָמאַטיק אַבעריישאַן פון אַלטראַווייאַליט צו נאָענט ינפרערעד. די שאַרפּנאַס, האַכלאָטע און קאָליר רענדיטיאָן פון די בילדער קענען זיין געראַנטיד. די בילד מיט הויך-האַכלאָטע און פלאַך בילד פֿאַר פאַרשידן מאַגנאַפאַקיישאַנז קענען זיין גאַט.
3. די אַפּערייטינג טאַפליע איז אין די פראָנט פון די מיקראָסקאָפּ, באַקוועם צו אַרבעטן.
די מעקאַניזאַם קאָנטראָל טאַפליע איז ליגן אין די פראָנט פון די מיקראָסקאָפּ (לעבן דער אָפּעראַטאָר), וואָס מאכט די אָפּעראַציע מער געשווינד און קאַנוויניאַנטלי ווען אַבזערווינג די מוסטער. און עס קענען רעדוצירן די מידקייַט געפֿירט דורך לאַנג-טערמין אָבסערוואַציע און די פלאָוטינג שטויב געבראכט דורך אַ גרויס קייט פון באַוועגונג.
4. ערגאָ טילטינג טרינאָקולאַר וויוינג קאָפּ.
די ערגאָ טילטינג וויוינג קאָפּ קענען מאַכן די אָבסערוואַציע מער באַקוועם, אַזוי צו מינאַמייז די מוסקל שפּאַנונג און ומבאַקוועמקייַט געפֿירט דורך לאַנג שעה פון אַרבעט.
5. פאָוקיסינג מעקאַניזאַם און פייַן אַדזשאַסטמאַנט שעפּן פון בינע מיט נידעריק האַנט שטעלע.
די פאָוקיסינג מעקאַניזאַם און פייַן אַדזשאַסטמאַנט שעפּן פון די בינע אַדאַפּט די נידעריק האַנט שטעלע פּלאַן, וואָס קאַנפאָרמז צו די ערגאַנאַמיק פּלאַן. יוזערז ניט דאַרפֿן צו כאַפּן הענט ווען אַפּערייטינג, וואָס גיט די גרעסטע גראַד פון באַקוועם געפיל.
6. דער בינע האט אַ געבויט-אין קלאַטשינג שעפּן.
די קלאַטשינג שעפּן קענען פאַרשטיין די שנעל און פּאַמעלעך באַוועגונג מאָדע פון דער בינע און קענען געשווינד געפֿינען גרויס-שטח סאַמפּאַלז. עס וועט ניט מער זיין שווער צו געפֿינען די סאַמפּאַלז געשווינד און אַקיעראַטלי ווען איר נוצן די שעפּן מיט די פיין אַדזשאַסטמאַנט שעפּן.
7. אָוווערסייזד בינע (14 "רענטגענ 12") קענען זיין געניצט פֿאַר גרויס ווייפערז און פּקב.
די געביטן פון מיקראָעלעקטראָניקס און סעמיקאַנדאַקטער סאַמפּאַלז, ספּעציעל ווייפער, טענד צו זיין גרויס, אַזוי פּראָסט מעטאַלאָגראַפיק מיקראָסקאָפּ בינע קענען נישט טרעפן זייער אָבסערוואַציע באדערפענישן. BS-4020A האט אַ אָוווערסייזד בינע מיט אַ גרויס באַוועגונג קייט, און עס איז באַקוועם און גרינג צו רירן. אַזוי עס איז אַן אידעאל קיילע פֿאַר מיקראָסקאָפּיק אָבסערוואַציע פון גרויס שטח ינדאַסטרי סאַמפּאַלז.
8. 12 "ווייפער האָלדער קומט מיט די מיקראָסקאָפּ.
12 "ווייפער און קלענערער גרייס ווייפער קענען זיין באמערקט מיט דעם מיקראָסקאָפּ, מיט שנעל און פייַן באַוועגונג בינע שעפּן, עס קענען שטארק פֿאַרבעסערן די אַרבעט עפעקטיווקייַט.
9. אַנטי-סטאַטיק פּראַטעקטיוו דעקן קענען רעדוצירן שטויב.
ינדאַסטרי סאַמפּאַלז זאָל זיין ווייַט אַוועק פון פלאָוטינג שטויב, און אַ ביסל פון שטויב קענען ווירקן פּראָדוקט קוואַליטעט און פּרובירן רעזולטאַטן. BS-4020A האט אַ גרויס שטח פון אַנטי-סטאַטיק פּראַטעקטיוו דעקן, וואָס קענען פאַרמייַדן פלאָוטינג שטויב און פאַלן שטויב צו באַשיצן די סאַמפּאַלז און מאַכן די פּרובירן רעזולטאַט מער פּינטלעך.
10. מער אַרבעט ווייַטקייט און הויך נאַ אָביעקטיוו.
די עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ און סעמיקאַנדאַקטערז אויף קרייַז ברעט סאַמפּאַלז האָבן דיפעראַנסיז אין הייך. דעריבער, לאַנג אַרבעט דיסטאַנסע אַבדזשעקטיווז האָבן שוין אנגענומען אויף דעם מיקראָסקאָפּ. דערווייַל, אין סדר צו באַפרידיקן די הויך רעקווירעמענץ פון ינדאַסטרי סאַמפּאַלז אויף קאָליר רעפּראָדוקציע, די מולטילייַער קאָוטינג טעכנאָלאָגיע איז דעוועלאָפּעד און ימפּרוווד איבער די יאָרן און BF&DF האַלב-APO און APO אָביעקטיוו מיט הויך NA זענען אנגענומען, וואָס קענען ומקערן די פאַקטיש קאָליר פון סאַמפּאַלז. .
11. פאַרשידן אָבסערוואַציע מעטהאָדס קענען טרעפן דייווערס טעסטינג רעקווירעמענץ.
| Illumination | העל פעלד | פינצטער פעלד | DIC | פלורעסאַנט ליכט | פּאָלאַריזעד ליכט |
| רעפלעקטעד יללומינאַטיאָן | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| טראַנסמיטטעד יללומינאַטיאָן | ○ | - | - | - | ○ |
אַפּפּליקאַטיאָן
BS-4020A ינדאַסטריאַל דורכקוק מיקראָסקאָפּ איז אַן אידעאל קיילע פֿאַר ינספּעקשאַנז פון פאַרשידן גרייס ווייפערז און גרויס פּקב. דער מיקראָסקאָפּ קענען זיין געוויינט אין אוניווערסיטעטן, עלעקטראָניק און טשיפּס פאבריקן פֿאַר פאָרשונג און דורכקוק פון ווייפערז, FPD, קרייַז פּעקל, פּקב, מאַטעריאַל וויסנשאַפֿט, פּינטלעכקייַט קאַסטינג, מעטאַלאָסעראַמיקס, פּינטלעכקייַט פורעם, סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק עטק.
באַשרייַבונג
| נומער | באַשרייַבונג | BS-4020A | BS-4020B | |
| אָפּטיש סיסטעם | NIS45 ינפיניטע קאָליר קערעקטאַד אָפּטיש סיסטעם (רער לענג: 200 מם) | ● | ● | |
| וויוינג קאָפּ | ערגאָ טילטינג טרינאָקולאַר קאָפּ, אַדזשאַסטאַבאַל 0-35 ° גענייגט, ינטערפּופּיללאַרי דיסטאַנסע 47 מם-78 מם; ספּליטינג פאַרהעלטעניש אויג פּיעסע: טרינאָקולאַר = 100:0 אָדער 20:80 אָדער 0:100 | ● | ● | |
| סעידענטאָפּף טרינאָקולאַר קאָפּ, 30 ° גענייגט, ינטערפּופּיללאַרי דיסטאַנסע: 47 מם-78 מם; ספּליטינג פאַרהעלטעניש אויג פּיעסע: טרינאָקולאַר = 100:0 אָדער 20:80 אָדער 0:100 | ○ | ○ | ||
| סעידענטאָפּף בינאָקולאַר קאָפּ, 30 ° גענייגט, ינטערפּופּיללאַרי דיסטאַנסע: 47 מם-78 מם | ○ | ○ | ||
| אויג פּיעסע | יבער ברייט פעלד פּלאַן אָיעפּיעס SW10X/25mm, דיאָפּטער אַדזשאַסטאַבאַל | ● | ● | |
| יבער ברייט פעלד פּלאַן אָיעפּיעס SW10X/22mm, דיאָפּטער אַדזשאַסטאַבאַל | ○ | ○ | ||
| עקסטרע ברייט פעלד פּלאַן ייעפּיעס EW12.5X/17.5mm, דיאָפּטער אַדזשאַסטאַבאַל | ○ | ○ | ||
| ברייט פעלד פּלאַן אָיעפּיעס WF15X/16mm, דיאָפּטער אַדזשאַסטאַבאַל | ○ | ○ | ||
| ברייט פעלד פּלאַן אָיעפּיעס WF20X/12mm, דיאָפּטער אַדזשאַסטאַבאַל | ○ | ○ | ||
| אָביעקטיוו | NIS45 ינפאַנאַט לווד פּלאַן האַלב-אַפּאָ אָביעקטיוו (בף & דף), מ26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
| ניס45 ינפיניטע לווד פּלאַן אַפּאָ אָביעקטיוו (בף & דף), מ26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
| ניס60 ינפאַנאַט לווד פּלאַן האַלב-אַפּאָ אָביעקטיוו (בף), מ25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| ניס60 ינפיניטע לווד פּלאַן אַפּאָ אָביעקטיוו (בף), מ25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| נאָזפּיעסע | צוריק סעקסטופּלע נאָזפּיעסע (מיט DIC שפּעלטל) | ● | ● | |
| קאַנדענסער | LWD קאַנדענסער NA0.65 | ○ | ● | |
| טראַנסמיטטעד יללומינאַטיאָן | 40 וו געפירט מאַכט צושטעלן מיט אָפּטיש פיברע ליכט פירן, ינטענסיטי אַדזשאַסטאַבאַל | ○ | ● | |
| רעפלעקטעד יללומינאַטיאָן | רעפלעקטעד ליכט 24 וו / 100 וו האַלאָגען לאָמפּ, קאָהלער ילומאַניישאַן, מיט 6 שטעלע טערט | ● | ● | |
| 100 וו האַלאָגען לאָמפּ הויז | ● | ● | ||
| רעפלעקטעד ליכט מיט 5 וו געפֿירט לאָמפּ, קאָהלער ילומאַניישאַן, מיט 6 שטעלע טערט | ○ | ○ | ||
| BF1 העל פעלד מאָדולע | ● | ● | ||
| BF2 העל פעלד מאָדולע | ● | ● | ||
| דף פינצטער פעלד מאָדולע | ● | ● | ||
| געבויט-אין ND6, ND25 פילטער און קאָליר קערעקשאַן פילטער | ○ | ○ | ||
| עקאָ פֿונקציע | ECO פונקציע מיט ECO קנעפּל | ● | ● | |
| פאָקוסינג | נידעריק-שטעלע קאָואַקסיאַל פּראָסט און פייַן פאָוקיסינג, פייַן אָפּטייל 1μם, מאָווינג קייט 35 מם | ● | ● | |
| בינע | 3 לייַערס מעטשאַניקאַל בינע מיט קלאַטשינג שעפּן, גרייס 14 "קס 12" (356 מם קס 305 מם); מאָווינג קייט 356מקס305מם; לייטינג געגנט פֿאַר טראַנסמיטטעד ליכט: 356 קס 284 מם. | ● | ● | |
| ווייפער האָלדער: קענען זיין געוויינט צו האַלטן 12 "ווייפער | ● | ● | ||
| DIC קיט | DIC קיט פֿאַר שפיגלט ילומאַניישאַן (קענען זיין געוויינט פֿאַר 10X, 20X, 50X, 100X אַבדזשעקטיווז) | ○ | ○ | |
| פּאָלאַריזינג קיט | פּאָליאַריזער פֿאַר שפיגלט ילומאַניישאַן | ○ | ○ | |
| אַנאַליזער פֿאַר שפיגלט ילומאַניישאַן, 0-360 ° ראָוטייטינג | ○ | ○ | ||
| פּאָליאַריזער פֿאַר טראַנסמיטטעד ילומאַניישאַן | ○ | ○ | ||
| אַנאַליזער פֿאַר טראַנסמיטטעד ילומאַניישאַן | ○ | ○ | ||
| אנדערע אַקסעסעריז | 0.5X C-בארג אַדאַפּטער | ○ | ○ | |
| 1X C-בארג אַדאַפּטער | ○ | ○ | ||
| שטויב קאָווער | ● | ● | ||
| מאַכט שנור | ● | ● | ||
| קאַלאַבריישאַן רוק 0.01 מם | ○ | ○ | ||
| מוסטער דרוקער | ○ | ○ | ||
באַמערקונג: ● נאָרמאַל גאַרניטער, ○ אָפּטיאָנאַל
מוסטער בילד
ויסמעסטונג
אַפּאַראַט: מם
סיסטעם דיאַגראַמע
סערטיפיקאַט
לאָגיסטיקס
